传感技术学报2020，Vol.33Issue(2)：161-166,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.02.001
p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用
Theoretical and Application of a 1-D Model of p+Si/Au Thermopile-Based Gas Flow Sensor
摘要
关键词
热电堆式气体流量传感器/1-D数学模型/单面硅微机械加工/p+Si/Au热电堆分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王珊珊,王家畴,李昕欣..p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用[J].传感技术学报,2020,33(2):161-166,6.基金项目
国家自然科学基金项目(61674160,61834007) （61674160,61834007）
