传感技术学报2020，Vol.33Issue(2)：167-172,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.02.002
应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究
Research on Nonlinear Planar Micro-Springs for Electromagnetic MEMS Actuators and Their Integrated Manufacturing Methods
摘要
关键词
微机电系统/非线性平面微弹簧/仿真/集成制造分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邵秀锋,赵小林,戴旭涵,唐智勇,黄建泽,丁桂甫..应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究[J].传感技术学报,2020,33(2):167-172,6.基金项目
国家自然科学基金项目(51875337) （51875337）
