光学精密工程2020，Vol.28Issue(2)：390-397,8.DOI:10.3788/OPE.20202802.0390
压电陶瓷驱动的长行程快刀伺服机构设计
Design of piezo-actuated long-stroke fast tool servo mechanism
摘要
关键词
快刀伺服/长行程/光学自由曲面加工/杠杆放大机构/寄生位移分类
机械制造引用本文复制引用
闫鹏,李金银..压电陶瓷驱动的长行程快刀伺服机构设计[J].光学精密工程,2020,28(2):390-397,8.基金项目
国家自然资金资助项目(No .51775319) （No .51775319）
国家重点研发计划资助项目(No .2017YFF0105903) （No .2017YFF0105903）
山东省重点研发计划资助项目(No .2018GGX103009) （No .2018GGX103009）
深圳市科技项目资助(No .JCYJ20180305164242690) （No .JCYJ20180305164242690）
