光学精密工程2020，Vol.28Issue(3)：584-590,7.DOI:10.3788/OPE.20202803.0584
基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动
Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser
摘要
关键词
飞秒激光/空间光调制/涡旋光/光驱动分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁宏伟,饶生龙,吴东,李家文,胡衍雷..基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动[J].光学精密工程,2020,28(3):584-590,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No .51875544 ,No .91963127 ,No .51675503 ,No .51805509 ) （No .51875544 ,No .91963127 ,No .51675503 ,No .51805509 ）
统筹推进世界一流大学和一流学科建设专项资金资助(No .YD2090002005 ) （No .YD2090002005 ）
中国科学院青年创新促进会资助项目(No .2017495) （No .2017495）
