人工晶体学报2020，Vol.49Issue(1)：152-157,6.
化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究
Study on the Defects of ZnSe Polycrystalline Materials Prepared by Chemical Vapor Deposition Method
魏乃光 1黎建明 1张鹏飞 1蒋立朋 1李冬旭 1杨海 1袁琴 1郭立 1田智瑞 1宋姿霖 1刘晓华1
作者信息
- 1. 有研科技集团,有研国晶辉新材料有限公司,三河065201
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摘要
关键词
化学气相沉积法(CVD)/ZnSe/缺陷分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
魏乃光,黎建明,张鹏飞,蒋立朋,李冬旭,杨海,袁琴,郭立,田智瑞,宋姿霖,刘晓华..化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究[J].人工晶体学报,2020,49(1):152-157,6.
