实验科学与技术2020，Vol.18Issue(1)：17-21,5.DOI:10.12179/1672-4550.20180226
磁控溅射制备Mo电极实验设计与研究
Experimental Design and Research of Mo Electrode Prepared by Magnetron Sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/半高宽/单一变量/摇摆曲线分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
尚正国,李东玲,佘引,陈宇昕..磁控溅射制备Mo电极实验设计与研究[J].实验科学与技术,2020,18(1):17-21,5.基金项目
重庆市自然科学基金(cstc2017jcyjAX0237) （cstc2017jcyjAX0237）
863计划先进制造技术领域(2015AA042603). （2015AA042603）
