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a-Si∶H薄膜中SiyHx结构组态的原子模拟研究

翟世铭廖黄盛周耐根黄海宾周浪

物理学报2020，Vol.69Issue(7)：248-253,6.

物理学报2020，Vol.69Issue(7)：248-253,6.DOI:10.7498/aps.69.20191275

Atomic simulation of SiyHx structure configuration in a-Si∶H thin films

翟世铭 ¹廖黄盛 ¹周耐根 ¹黄海宾 ¹周浪¹

作者信息

SiyHx结构/键能/氢化非晶硅薄膜/分子动力学

翟世铭,廖黄盛,周耐根,黄海宾,周浪..a-Si∶H薄膜中SiyHx结构组态的原子模拟研究[J].物理学报,2020,69(7):248-253,6.

国家自然科学基金(批准号:51561022,51861023)和江西省自然科学基金(批准号:20181BAB206013)资助的课题. （批准号:51561022,51861023）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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