徐州工程学院学报（自然科学版）2020，Vol.35Issue(1)：6-11,6.
初始空位浓度对硅晶圆中V-O2对演变影响的仿真
Simulation of Effect of Initial Vacancy Concentration on the V-O2 Pair＇s Evolution in Silicon Monocrystalline Wafer
摘要
关键词
仿真/硅晶圆/V-O2对/初始空位浓度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
关小军,关宇昕,王善文..初始空位浓度对硅晶圆中V-O2对演变影响的仿真[J].徐州工程学院学报（自然科学版）,2020,35(1):6-11,6.基金项目
高等学校博士学科点专项科研基金项目(200804220021) （200804220021）
山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF1303) （KF1303）
