测控技术2020,Vol.39Issue(4):1-5,32,6.
高温大压力传感器研究现状与发展趋势
Research Status and Development Trend of High Temperature Pressure Sensor
黄漫国 1邹兴 2郭占社 3刘德峰 3李欣1
作者信息
- 1. 航空工业北京长城航空测控技术研究所,北京 101111
- 2. 状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京 101111
- 3. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京 100191
- 折叠
摘要
关键词
高温大压力传感器/单晶硅/多晶硅/硅-蓝宝石/碳化硅/光纤分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄漫国,邹兴,郭占社,刘德峰,李欣..高温大压力传感器研究现状与发展趋势[J].测控技术,2020,39(4):1-5,32,6.