电子器件2020，Vol.43Issue(1)：10-14,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2020.01.003
基于LCP柔性衬底的MEMSV型梁结构的设计制备与表征
Design,Fabrication and Characterization of MEMS V-Beam Structure Based on LCP Flexible Substrate
摘要
关键词
MEMS/弯曲特性/柔性衬底弯曲/V型梁结构/力学特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吝晓楠,吴虹剑,田蕾,于洋,韩磊..基于LCP柔性衬底的MEMSV型梁结构的设计制备与表征[J].电子器件,2020,43(1):10-14,5.基金项目
国家级大学生创新创业训练计划项目( 201810286034) （ 201810286034）
国家自然科学基金项目( 61774032) （ 61774032）
