太阳能Issue(4)：42-46,5.
管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究
RESEARCH ON OPTIMAL DESIGN AND NUMERICAL SIMULATION OF THE STRUCTURE OF THE REACTION CHAMBER OF TUBULAR PECVD EQUIPMENT
郭艳 1李明 1吴得轶1
作者信息
- 1. 湖南红太阳光电科技有限公司,长沙410205
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摘要
关键词
管式/PECVD/反应室/结构/流场数值仿真/优化设计分类
能源科技引用本文复制引用
郭艳,李明,吴得轶..管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究[J].太阳能,2020,(4):42-46,5.
