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脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断

周瑜操礼阳马晓萍邓丽丽辛煜

物理学报2020，Vol.69Issue(8)：277-284,8.

物理学报2020，Vol.69Issue(8)：277-284,8.DOI:10.7498/aps.69.20191864

Diagnosis of capacitively coupled plasma driven by pulsemodulated 27.12 MHz by using an emissive probe

周瑜 ¹操礼阳 ¹马晓萍 ¹邓丽丽 ¹辛煜¹

作者信息

发射探针/脉冲等离子体/空间电位/电子温度

周瑜,操礼阳,马晓萍,邓丽丽,辛煜..脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断[J].物理学报,2020,69(8):277-284,8.

国家自然科学基金(批准号:11675117,11175127)和江苏省高等院校优势学科建设(PAPD)计划资助的课题. （批准号:11675117,11175127）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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