西安电子科技大学学报（自然科学版）2020，Vol.47Issue(2)：32-38,7.DOI:10.19665/j.issn1001-2400.2020.02.005
AlN薄膜PMUT阵列指向性仿真分析与阵列优化
Simulation analysis of directivity and optimization of the array of the AlN thin film PMUT array
娄利飞 1安再芳 1李艺宁 1赵明阳 1赵建新1
作者信息
- 1. 西安电子科技大学 微电子学院,陕西 西安 710071
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摘要
关键词
压电微机械超声换能器阵列/氮化铝/性能优化/指向性分类
通用工业技术引用本文复制引用
娄利飞,安再芳,李艺宁,赵明阳,赵建新..AlN薄膜PMUT阵列指向性仿真分析与阵列优化[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2020,47(2):32-38,7.
