液压与气动Issue(3)：96-101,6.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2020.03.015
精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析
Design and Analysis of Precise Two-dimensional Aerostatic Worktable with High Stiffness
摘要
关键词
闭式平面气浮导轨/二维气浮工作台/精密/高刚度分类
机械制造引用本文复制引用
黄鹏,卢志伟,刘波,张君安..精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析[J].液压与气动,2020,(3):96-101,6.基金项目
陕西省教育厅重点实验室基金(19JS033) （19JS033）
西安市未央区科技计划基金(201838) （201838）
