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钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响

席莎 安耿 李晶 韩强 刘仁智 赵虎

中国钼业2019,Vol.43Issue(6):50-53,4.
中国钼业2019,Vol.43Issue(6):50-53,4.DOI:10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2019.06.010

钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响

EFFECT OF MOLYBDENUM POWDER PARTICLE SIZE ON PROPERTIES OF Mo-Ti THIN FILM

席莎 1安耿 1李晶 1韩强 1刘仁智 1赵虎1

作者信息

  • 1. 金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西西安710077
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摘要

关键词

钼粉/钼钛靶材/磁控溅射/微观组织

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

席莎,安耿,李晶,韩强,刘仁智,赵虎..钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响[J].中国钼业,2019,43(6):50-53,4.

中国钼业

OACSTPCD

1006-2602

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