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氮化铝陶瓷的氧化机理研究

陈欣 杨洁 黄刚 李天涛 向军 陈弹蛋 刘平

真空电子技术Issue(1):26-31,6.
真空电子技术Issue(1):26-31,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.01.02

氮化铝陶瓷的氧化机理研究

Study on Oxidation Mechanism of Aluminum Nitride Ceramics

陈欣 1杨洁 1黄刚 1李天涛 1向军 1陈弹蛋 1刘平1

作者信息

  • 1. 中国工程物理研究院流体物理研究所,四川绵阳621900
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摘要

关键词

氮化铝陶瓷/氧化/金属化

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

陈欣,杨洁,黄刚,李天涛,向军,陈弹蛋,刘平..氮化铝陶瓷的氧化机理研究[J].真空电子技术,2020,(1):26-31,6.

基金项目

四川省科技计划资助项目(项目编号:2018GZ0150) (项目编号:2018GZ0150)

真空电子技术

1002-8935

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