真空电子技术Issue(1):37-40,47,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.01.04
高导热氮化硅陶瓷的快速制备和性能控制
Rapid Preparation and Performance Control of Silicon Nitride Ceramics with High Thermal Conductivity
摘要
关键词
氮化硅基片/流延成型/硅粉氮化/无压烧结分类
化学化工引用本文复制引用
张景贤,席红安,段于森,刘宁,马瑞欣,江东亮,杨建,李晓云,丘泰..高导热氮化硅陶瓷的快速制备和性能控制[J].真空电子技术,2020,(1):37-40,47,5.基金项目
科技部重点研发计划项目(2016YFB0700300) (2016YFB0700300)
国家自然科学基金项目(51572277,51702340) (51572277,51702340)
上海市科学技术委员会项目(17YF1428800、17ZR1434800) (17YF1428800、17ZR1434800)
中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室项目 ()