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高导热氮化硅陶瓷的快速制备和性能控制

张景贤 席红安 段于森 刘宁 马瑞欣 江东亮 杨建 李晓云 丘泰

真空电子技术Issue(1):37-40,47,5.
真空电子技术Issue(1):37-40,47,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.01.04

高导热氮化硅陶瓷的快速制备和性能控制

Rapid Preparation and Performance Control of Silicon Nitride Ceramics with High Thermal Conductivity

张景贤 1席红安 2段于森 3刘宁 1马瑞欣 1江东亮 1杨建 1李晓云 4丘泰4

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷与复合材料工程研究中心,上海200050
  • 2. 中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049
  • 3. 佛山市中国科学院上海硅酸盐研究所陶瓷研发中心,广东佛山528000
  • 4. 南京工业大学材料科学与工程学院,江苏南京210009
  • 折叠

摘要

关键词

氮化硅基片/流延成型/硅粉氮化/无压烧结

分类

化学化工

引用本文复制引用

张景贤,席红安,段于森,刘宁,马瑞欣,江东亮,杨建,李晓云,丘泰..高导热氮化硅陶瓷的快速制备和性能控制[J].真空电子技术,2020,(1):37-40,47,5.

基金项目

科技部重点研发计划项目(2016YFB0700300) (2016YFB0700300)

国家自然科学基金项目(51572277,51702340) (51572277,51702340)

上海市科学技术委员会项目(17YF1428800、17ZR1434800) (17YF1428800、17ZR1434800)

中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室项目 ()

真空电子技术

1002-8935

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