α-Al2O3纳米粒子抛光浆料稳定性及其对蓝宝石抛光性能的影响OA北大核心CSCDCSTPCD
Stability of α-Al2O3 Nanoparticles Polishing Slurry and Its Effect on Polishing Performance of Sapphire
目的 制备分散稳定性良好的 α-Al2O3纳米粒子抛光浆料,提高对蓝宝石的化学机械抛光性能.方法 将α-Al2O3分散在硅溶胶、氧化铈溶胶、水等不同分散介质中,于不同pH值、不同硅溶胶浓度及硅溶胶粒径等条件下制备出α-Al2O3纳米粒子的抛光浆料,考察抛光浆料的稳定性及抛光浆料对蓝宝石化学机械抛光性能的影响.采用Zeta电位仪测量抛光浆料中α-Al2O3的电势,进而对其分散稳定性进行分析.采用原子力显微镜(AFM)和分析天平分别对蓝宝石表面粗糙度…查看全部>>
张曼;张启凯;邹兰梅;所世兴;于少明
合肥工业大学 化学与化工学院,合肥 230009合肥工业大学 化学与化工学院,合肥 230009合肥工业大学 化学与化工学院,合肥 230009淄博金纪元有限公司,山东 淄博 255086合肥工业大学 化学与化工学院,合肥 230009
通用工业技术
α-Al2O3抛光浆料分散稳定性化学机械抛光蓝宝石
《表面技术》 2020 (2)
331-338,8
合肥工业大学科研项目(W2016JSZX0292)
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