表面技术2020，Vol.49Issue(4)：11-22,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.04.002
金刚石化学机械抛光研究现状
Research Status on Chemical Mechanical Polishing of Diamond
摘要
关键词
金刚石/化学机械抛光/半导体/平坦化/超精密加工分类
矿业与冶金引用本文复制引用
袁菘,郭晓光,金洙吉,康仁科,郭东明..金刚石化学机械抛光研究现状[J].表面技术,2020,49(4):11-22,12.基金项目
中央高校基本科研业务费资助(DUT20LAB107) （DUT20LAB107）
国家自然科学基金(51575083) （51575083）
