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MEMS石英振梁高增益谐振电路的设计与分析

蔡安江 万垚 张栋鹏 杨琦奇 李村

传感技术学报2020,Vol.33Issue(3):375-379,5.
传感技术学报2020,Vol.33Issue(3):375-379,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.03.010

MEMS石英振梁高增益谐振电路的设计与分析

Design and Analysis of High Gain Resonant Circuit of MEMS Quartz Vibrating Beam

蔡安江 1万垚 2张栋鹏 1杨琦奇 1李村1

作者信息

  • 1. 西安建筑科技大学机电工程学院,西安710055
  • 2. 陕西省纳米材料与技术重点实验室,西安710055
  • 折叠

摘要

关键词

QVBA/高阻抗/谐振电路/谐波抑制网络/高增益

分类

交通工程

引用本文复制引用

蔡安江,万垚,张栋鹏,杨琦奇,李村..MEMS石英振梁高增益谐振电路的设计与分析[J].传感技术学报,2020,33(3):375-379,5.

基金项目

国家自然科学基金(51805424) (51805424)

陕西省教育厅科研计划项目(18JS059) (18JS059)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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