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气体团簇离子束装置的设计及其在表面平坦化、自组装纳米结构中的应用

曾晓梅 Vasiliy Pelenovich Rakhim Rakhimov 左文彬 邢斌 罗进宝 张翔宇 付德君

物理学报2020，Vol.69Issue(9)：113-122,10.
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物理学报2020，Vol.69Issue(9)：113-122,10.DOI:10.7498/aps.69.20191990

气体团簇离子束装置的设计及其在表面平坦化、自组装纳米结构中的应用

Design and application of gas cluster accelerator for surface smoothing and nanostructures formation

曾晓梅 1Vasiliy Pelenovich 2Rakhim Rakhimov 1左文彬 1邢斌 2罗进宝 1张翔宇 1付德君1

作者信息

  • 1. 武汉大学物理科学与技术学院, 武汉 430072
  • 2. 武汉大学动力与机械学院, 武汉 430072
  • 折叠

摘要

关键词

气体团簇离子束/表面平坦化/自组装纳米结构/功率谱密度函数

引用本文复制引用

曾晓梅,Vasiliy Pelenovich,Rakhim Rakhimov,左文彬,邢斌,罗进宝,张翔宇,付德君..气体团簇离子束装置的设计及其在表面平坦化、自组装纳米结构中的应用[J].物理学报,2020,69(9):113-122,10.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:11875210)和广东省自然科学基金(批准号:2018A050506082)资助的课题. （批准号:11875210）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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