合成材料老化与应用2020，Vol.49Issue(2)：120-122,3.
磁控溅射镀膜技术的研究及发展趋势
Development and Research of Magnetron Sputtering Coating Technology
摘要
关键词
磁控溅射镀膜/薄膜制备/应用分类
通用工业技术引用本文复制引用
赵向杰..磁控溅射镀膜技术的研究及发展趋势[J].合成材料老化与应用,2020,49(2):120-122,3.基金项目
2018年西安航空职业技术学院校级综合科研项目(18XHZH-015). （18XHZH-015）
