金刚石与磨料磨具工程2020，Vol.40Issue(2)：17-21,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2020.2.0003
氢、氧原子刻蚀CVD金刚石涂层石墨相的机理研究
Mechanism of hydrogen and oxygen etching graphite phase in CVD diamond coatings
摘要
关键词
第一性原理/刻蚀机理/吸附过程/反应热/反应能垒分类
化学化工引用本文复制引用
简小刚,黄新,何嘉诚,王俊鹏..氢、氧原子刻蚀CVD金刚石涂层石墨相的机理研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2020,40(2):17-21,5.基金项目
国家自然科学基金(51275358) （51275358）
中央高校专项基金(20140750). （20140750）
