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超导水平磁场结构对φ300mm直拉硅单晶固液界面影响的三维数值模拟

张晶 杜燕军 刘丁 任俊超

人工晶体学报2020,Vol.49Issue(4):600-606,7.
人工晶体学报2020,Vol.49Issue(4):600-606,7.

超导水平磁场结构对φ300mm直拉硅单晶固液界面影响的三维数值模拟

Three-Dimensional Numerical Simulation on the Effect of Superconducting Horizon Magnetic Field Structures on Solid-Liquid Interface of φ300 mm Czochralski Monocrystalline Silicon

张晶 1杜燕军 1刘丁 1任俊超1

作者信息

  • 1. 西安理工大学,晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程中心,陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室,西安 710048
  • 折叠

摘要

关键词

超导水平磁场结构/直拉硅单晶/固液界面/数值模拟

分类

数理科学

引用本文复制引用

张晶,杜燕军,刘丁,任俊超..超导水平磁场结构对φ300mm直拉硅单晶固液界面影响的三维数值模拟[J].人工晶体学报,2020,49(4):600-606,7.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(61533014) (61533014)

陕西省自然科学基础研究计划(2019JQ-734) (2019JQ-734)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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