陕西煤炭2020，Vol.39Issue(z1)：83-87,5.
磁控溅射法制备柔性大尺寸ITO薄膜的研究
Study on the preparation of flexible large size ITO films by magnetron sputtering
摘要
关键词
直流磁控溅射/大尺寸ITO薄膜/光电性能引用本文复制引用
霍林智,朱小宁,魏立帅,李浩洋,王璐,高阳,李海涛,田占元..磁控溅射法制备柔性大尺寸ITO薄膜的研究[J].陕西煤炭,2020,39(z1):83-87,5.基金项目
企业自营基金 （）
