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能量过滤磁控溅射技术制备Te薄膜及其光学性能研究

张世慧 姚宁 田维民 王朝勇 贾瑜

郑州大学学报（理学版）2020，Vol.52Issue(2)：102-107,6.
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郑州大学学报（理学版）2020，Vol.52Issue(2)：102-107,6.DOI:10.13705/j.issn.1671-6841.2019163

能量过滤磁控溅射技术制备Te薄膜及其光学性能研究

Preparation and Optical Properties of Te Thin Films by Energy Filtration Magnetron Sputtering

张世慧 1姚宁 1田维民 1王朝勇 2贾瑜1

作者信息

  • 1. 郑州大学物理工程学院 河南郑州 450001
  • 2. 河南城建学院数理学院 河南平顶山 467036
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摘要

关键词

能量过滤磁控溅射/Te薄膜/光学性质/椭圆偏振光谱仪

分类

数理科学

引用本文复制引用

张世慧,姚宁,田维民,王朝勇,贾瑜..能量过滤磁控溅射技术制备Te薄膜及其光学性能研究[J].郑州大学学报（理学版）,2020,52(2):102-107,6.

基金项目

河南省重点科技攻关计划项目 (152102210038). （152102210038）

郑州大学学报（理学版）

OA北大核心CSTPCD

1671-6841

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