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化学气相沉积温度对AZ31镁合金表面制备DLC薄膜微观结构及机械性能的影响

杨利 张桐 陈东旭 王亚男 周艳文 陈树江

表面技术2020,Vol.49Issue(5):317-324,8.
表面技术2020,Vol.49Issue(5):317-324,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.05.038

化学气相沉积温度对AZ31镁合金表面制备DLC薄膜微观结构及机械性能的影响

Effect of Temperature on Microstructures and Mechanical Properties of DLC Films Prepared on AZ31 Magnesium Alloy by Chemical Vapor Deposition

杨利 1张桐 1陈东旭 1王亚男 1周艳文 1陈树江1

作者信息

  • 1. 辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山 114051
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摘要

关键词

等离子体增强化学气相沉积/类金刚石薄膜/AZ31镁合金/沉积温度/机械性能

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

杨利,张桐,陈东旭,王亚男,周艳文,陈树江..化学气相沉积温度对AZ31镁合金表面制备DLC薄膜微观结构及机械性能的影响[J].表面技术,2020,49(5):317-324,8.

基金项目

辽宁省自然科学基金(20180510001) (20180510001)

辽宁科技大学校人才计划(2018RC03) (2018RC03)

辽宁省教育厅项目(SKLMEA-USTL(201709), SKLMEA-USTLN (201909)) (SKLMEA-USTL(201709)

辽宁科技大学创新团队项目(2017TD01) (2017TD01)

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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