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高功率脉冲磁控溅射技术制备掺氮类金刚石薄膜的磨蚀性能

沈永青 张志强 廖斌 吴先映 张旭 华青松 鲍曼雨

物理学报2020，Vol.69Issue(10)：50-60,11.
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物理学报2020，Vol.69Issue(10)：50-60,11.DOI:10.7498/aps.69.20200021

高功率脉冲磁控溅射技术制备掺氮类金刚石薄膜的磨蚀性能

Tribocorrosion performance of Nitrogen-doped diamond like carbon coating by high power impulse magnetron sputtering technique

沈永青 1张志强 2廖斌 1吴先映 2张旭 1华青松 2鲍曼雨1

作者信息

  • 1. 北京师范大学核科学与技术学院,北京 100875
  • 2. 北京市辐射中心,北京 100875
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摘要

关键词

高功率脉冲磁控溅射/掺氮类金刚石薄膜/磨蚀/腐蚀

引用本文复制引用

沈永青,张志强,廖斌,吴先映,张旭,华青松,鲍曼雨..高功率脉冲磁控溅射技术制备掺氮类金刚石薄膜的磨蚀性能[J].物理学报,2020,69(10):50-60,11.

基金项目

广东省重点领域研发计划(批准号:2019B090909002)、国家科技重大专项(批准号:2017-VII-0012-0108)和国家自然科学基金联合基金(批准号:U1865206)资助的课题. （批准号:2019B090909002）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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