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磁过滤阴极真空弧技术制备厚且韧TiN涂层

张志强 欧阳晓平 廖斌 欧伊翔 张丰收 张旭 沈永青 陈淑年 华青松 何光宇

物理学报2020，Vol.69Issue(10)：61-70,10.
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物理学报2020，Vol.69Issue(10)：61-70,10.DOI:10.7498/aps.69.20200036

磁过滤阴极真空弧技术制备厚且韧TiN涂层

Thick yet tough TiN coatings deposited by filter cathode vacuum arc technology

张志强 1欧阳晓平 2廖斌 1欧伊翔 1张丰收 2张旭 2沈永青 1陈淑年 2华青松 1何光宇2

作者信息

  • 1. 北京师范大学核科学与技术学院,北京 100875
  • 2. 北京市辐射中心,北京 100875
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摘要

关键词

压气机叶片/厚且韧TiN涂层/离子轰击/耐磨

引用本文复制引用

张志强,欧阳晓平,廖斌,欧伊翔,张丰收,张旭,沈永青,陈淑年,华青松,何光宇..磁过滤阴极真空弧技术制备厚且韧TiN涂层[J].物理学报,2020,69(10):61-70,10.

基金项目

广东省重点领域研发计划(批准号:2019 B090909002)、国家科技重大专项(批准号:2017-VII-0012-0107)和国防科技重点实验室基金(批准号:614220207011802)资助的课题. （批准号:2019 B090909002）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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