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用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法

杨光 陈磊 胡晨辉 张正宇 朱文华

液晶与显示2020，Vol.35Issue(2)：108-114,7.
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液晶与显示2020，Vol.35Issue(2)：108-114,7.DOI:10.3788/YJYXS20203502.0108

用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法

Low coherence carrier frequency interference method for measurement of the liquid crystal cell surface

杨光 1陈磊 2胡晨辉 2张正宇 2朱文华2

作者信息

  • 1. 南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京210094
  • 2. 南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
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摘要

关键词

液晶盒/短相干光/傅里叶变换/面形检测

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨光,陈磊,胡晨辉,张正宇,朱文华..用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法[J].液晶与显示,2020,35(2):108-114,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.U1731115) （No.U1731115）

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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