真空电子技术Issue(2)：39-43,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.02.09
一种新型小型化高抽速的复合吸气泵
A New Combination Pump with High Sorption Speed and Small Size
郭卫斌 1薛函迎 1柴云川 1王浏杰1
作者信息
- 1. 南京华东电子真空材料有限公司,江苏南京210034
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摘要
关键词
超高真空/溅射离子泵/吸气剂泵/复合泵分类
通用工业技术引用本文复制引用
郭卫斌,薛函迎,柴云川,王浏杰..一种新型小型化高抽速的复合吸气泵[J].真空电子技术,2020,(2):39-43,5.
