真空电子技术Issue(2)：44-47,63,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.02.10
Fe-Si-Al薄膜超声喷涂技术研究
Study on Fe-Si-Al Thin Film Preparation by Ultrasonic-Spray Technology
李佳潞 1蔡军 1杜英华 1贾萌 1字张雄 1潘攀 1陈辑1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015
- 折叠
摘要
关键词
超声喷涂/折叠波导/薄膜衰减材料/振荡分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李佳潞,蔡军,杜英华,贾萌,字张雄,潘攀,陈辑..Fe-Si-Al薄膜超声喷涂技术研究[J].真空电子技术,2020,(2):44-47,63,5.
