光学精密工程2020，Vol.28Issue(4)：前插1-前插2,759-770,14.DOI:10.3788/OPE.20202804.0759
超声电机多参量高精度测控系统的研制
Development of high-precision multivariable measurement and control system of ultrasonic motor
摘要
关键词
超声电机/测控系统/多参量/标准化流程分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈宁,郑杰基,焦西凯,范世珣,陈虎城,范大鹏..超声电机多参量高精度测控系统的研制[J].光学精密工程,2020,28(4):前插1-前插2,759-770,14.基金项目
国家973基础研究发展规划资助课题(No.2015CB057503) （No.2015CB057503）
