光学精密工程2020,Vol.28Issue(4):790-799,10.DOI:10.3788/OPE.20202804.0790
超声电机速度与位置的高精度控制
High-precision control algorithm for velocity and position of ultrasonic motor
摘要
关键词
超声电机/速度平稳性/微步进特性/定位精度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈宁,郑杰基,范世珣,李华峰,范大鹏..超声电机速度与位置的高精度控制[J].光学精密工程,2020,28(4):790-799,10.基金项目
国家973基础研究发展规划资助课题(No.2015CB057503) (No.2015CB057503)