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全视场外差短相干形貌测量技术

吕彤 张文喜 吕笑宇 李杨 伍洲 孔新新

光学精密工程2020，Vol.28Issue(4)：800-807,8.
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光学精密工程2020，Vol.28Issue(4)：800-807,8.DOI:10.3788/OPE.20202804.0800

全视场外差短相干形貌测量技术

Full-field heterodyne short coherent topography measurement technology

吕彤 1张文喜 2吕笑宇 1李杨 2伍洲 1孔新新1

作者信息

  • 1. 中国科学院光电研究院计算光学成像技术重点实验室,北京100094
  • 2. 中国科学院大学光电学院,北京100094
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摘要

关键词

光学测量/三维形貌/短相干测量/全视场外差

分类

天文与地球科学

引用本文复制引用

吕彤,张文喜,吕笑宇,李杨,伍洲,孔新新..全视场外差短相干形貌测量技术[J].光学精密工程,2020,28(4):800-807,8.

基金项目

国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605217) （No.61605217）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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