江苏大学学报（自然科学版）2020，Vol.41Issue(2)：221-229,9.DOI:10.3969/j.issn.1671-7775.2020.02.016
刻蚀条件对石英各向异性刻蚀特征的作用机理及KMC数值模拟
Effect of etching conditions on anisotropic etch rates of quartz and KMC simulation
张辉 1满青珊 2贲伟 1鲁士仿 1秦晅 1幸研1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第二十八研究所,江苏南京210007
- 2. 东南大学机械工程学院,江苏南京211189
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摘要
关键词
石英/各向异性/湿法刻蚀/活化能/KMC仿真模型分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张辉,满青珊,贲伟,鲁士仿,秦晅,幸研..刻蚀条件对石英各向异性刻蚀特征的作用机理及KMC数值模拟[J].江苏大学学报（自然科学版）,2020,41(2):221-229,9.
