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用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究

尚伦霖 周意 吕游 张广安 李文生

原子能科学技术2020，Vol.54Issue(6)：968-974,7.
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原子能科学技术2020，Vol.54Issue(6)：968-974,7.DOI:10.7538/yzk.2020.youxian.0060

用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究

Development of Diamond-like Carbon Resistive Electrode for Micro-pattern Gas Detector

尚伦霖 1周意 2吕游 3张广安 3李文生2

作者信息

  • 1. 兰州理工大学 材料科学与工程学院 ,甘肃 兰州 730050
  • 2. 中国科学院 兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室 ,甘肃 兰州 730000
  • 3. 核探测与核电子学国家重点实验室 ,中国科学技术大学 ,安徽 合肥 230026
  • 折叠

摘要

关键词

微结构气体探测器/类金刚石碳阻性电极/面电阻

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

尚伦霖,周意,吕游,张广安,李文生..用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究[J].原子能科学技术,2020,54(6):968-974,7.

基金项目

核探测与核电子学国家重点实验室资助项目(SKLPDE-KF-201908) （SKLPDE-KF-201908）

国家自然科学基金青年科学基金资助项目(11905273 ) （11905273 ）

原子能科学技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6931

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