硅酸盐学报2020，Vol.38Issue(6)：903-907,5.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20190539
非晶SiCxOy薄膜的光致白光发射
Intense White Light Emission from Amorphous Silicon Oxycarbide Film
摘要
关键词
光致发光/碳氧化硅/白光发射/等离子体增强化学气相沉积分类
数理科学引用本文复制引用
宋捷,林圳旭,张毅,黄锐..非晶SiCxOy薄膜的光致白光发射[J].硅酸盐学报,2020,38(6):903-907,5.基金项目
国家自然科学基金(61274140) （61274140）
广东省普通高校青年创新人才项目(2017KQNCX129)资助. （2017KQNCX129）
