化工学报2020，Vol.71Issue(6)：2743-2751,9.DOI:10.11949/0438-1157.20200077
流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体
Preparation of nearly-stoichiometric TiN powder by chemical vapor deposition in fluidized-bed
摘要
关键词
流化床化学气相沉积/氮化钛/粉体/化学计量比分类
化学化工引用本文复制引用
桑元,向茂乔,宋淼,朱庆山..流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体[J].化工学报,2020,71(6):2743-2751,9.基金项目
国家自然科学基金青年基金项目(11805227) （11805227）
中国科学院基础前沿科学研究项目(ZDBS-LY-JSC041) （ZDBS-LY-JSC041）
