有色金属材料与工程2020，Vol.41Issue(2)：47-54,8.DOI:10.13258/j.cnki.nmme.2020.02.008
薄膜压力传感器的研究进展
Research Progress of Thin Film Pressure Sensors
摘要
关键词
薄膜压力传感器/磁控溅射/制备技术/研究进展分类
农业科技引用本文复制引用
虞沛芾,李伟..薄膜压力传感器的研究进展[J].有色金属材料与工程,2020,41(2):47-54,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51471110) （51471110）
