数字技术与应用2020，Vol.38Issue(4)：1-2,2.DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2020.04.01
MEMS陀螺在片自动测试系统开发
Development of Automatic Test System for MEMS Gyroscope on Wafer Test System
孙天玲 1胥超 1赵阳 1付兴中 1杨志1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051
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摘要
关键词
微机械陀螺/在片测试系统/数字采集卡分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙天玲,胥超,赵阳,付兴中,杨志..MEMS陀螺在片自动测试系统开发[J].数字技术与应用,2020,38(4):1-2,2.
