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基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制

任俊超 刘丁 万银

自动化学报2020，Vol.46Issue(5)：1004-1016,13.
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自动化学报2020，Vol.46Issue(5)：1004-1016,13.DOI:10.16383/j.aas.c190798

基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制

Hybrid Integrated Modeling Based Adaptive Nonlinear Predictive Control of Silicon Single Crystal Diameter

任俊超 1刘丁 2万银1

作者信息

  • 1. 西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心 西安710048
  • 2. 陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室 西安710048
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摘要

关键词

直拉硅单晶生长/直径控制/混合集成建模/模型辨识/自适应非线性预测控制

引用本文复制引用

任俊超,刘丁,万银..基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制[J].自动化学报,2020,46(5):1004-1016,13.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(61533014)资助 （61533014）

自动化学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0254-4156

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