光学精密工程2020，Vol.28Issue(5)：1066-1074,9.DOI:10.3788/OPE.20202805.1066
梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性
Nonlinear characteristics of silicon resonant accelerometer with vibrating beam integrated with comb fingers structure
摘要
关键词
硅微谐振式加速度计/非线性振动/复合结构/仿真分析分类
机械制造引用本文复制引用
刘梦霞,赵前程,崔健..梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性[J].光学精密工程,2020,28(5):1066-1074,9.基金项目
国家重点研发计划资助项目(No.2018YFB2002500) （No.2018YFB2002500）
