金刚石与磨料磨具工程2020，Vol.40Issue(3)：33-39,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005
基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响
Effect of matrix surface temperature field on deposition of nano-diamond films based on ANSYS simulation
邓福铭 1王双 1郭振海 1郝岑 1赵鑫 1解亚娟 1许晨阳1
作者信息
- 1. 中国矿业大学(北京),超硬刀具材料研究所,北京 100083
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摘要
关键词
化学气相沉积/热丝/基体距离/膜内应力/温度场分类
化学化工引用本文复制引用
邓福铭,王双,郭振海,郝岑,赵鑫,解亚娟,许晨阳..基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2020,40(3):33-39,7.
