计量学报2019，Vol.40Issue(z1)：17-22,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2019.z1.04
AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响
The Effects of Different Setpoint to Measuring Accuracy and Service Life of a Probe on AFM
摘要
关键词
计量学/原子力显微镜/扫描模式/设定值/探针磨损分类
通用工业技术引用本文复制引用
唐莹,曹丛,张健,赵东升..AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响[J].计量学报,2019,40(z1):17-22,6.基金项目
科技部国家重点研发计划(2018YFF0212305) （2018YFF0212305）
