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基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析

董欣媛孙双花崔京远沈雪萍段发阶汪书辉

计量学报2019，Vol.40Issue(z1)：36-41,6.

计量学报2019，Vol.40Issue(z1)：36-41,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2019.z1.08

Error Analysis of Two-dimensional Grating Calibration System Based on Orthogonal Dual-axis Laser Interferometer

董欣媛 ¹孙双花 ²崔京远 ²沈雪萍 ²段发阶 ¹汪书辉¹

作者信息

计量学/二维光栅/双轴激光干涉仪/最小二乘平面拟合

通用工业技术

董欣媛,孙双花,崔京远,沈雪萍,段发阶,汪书辉..基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析[J].计量学报,2019,40(z1):36-41,6.

国家重点研发计划项目(2017YFF0204803) （2017YFF0204803）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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