太阳能Issue(6)：55-59,5.
低频PECVD设备沉积的AlOx/SiNx钝化膜的性能研究
PERFORMANCE RESEARCH OF AlOx /SiNx PASSIVATION FILMS DEPOSITED BY LOW FREQUENCY PECVD
摘要
关键词
低频PECVD设备/氧化铝/少子寿命/等离子体表面处理/钝化/太阳电池分类
数理科学引用本文复制引用
赵增超,李明,周小荣,郭艳,黄嘉斌..低频PECVD设备沉积的AlOx/SiNx钝化膜的性能研究[J].太阳能,2020,(6):55-59,5.基金项目
湖南省创新型省份建设专项——湖南省晶体硅太阳能电池工程技术研究中心(2019TP2048) （2019TP2048）
