太赫兹科学与电子信息学报2020，Vol.18Issue(3)：538-544,7.DOI:10.11805/TKYDA2019046
基于HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展
Research progress of micro-scale hemispherical resonator gyroscopes based on etching of HNA solution
摘要
关键词
微半球谐振陀螺/各向同性腐蚀/HNA溶液/单晶硅/半球谐振子分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郑显泽,唐彬,王月,熊壮..基于HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展[J].太赫兹科学与电子信息学报,2020,18(3):538-544,7.基金项目
中物院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZM18005) （ZM18005）
新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室开放基金资助项目 （）
