测试技术学报2020，Vol.34Issue(4)：355-359,368,6.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2020.04.014
仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器 有限元仿真分析
Finite Element Simulation Analysis of MEMS Vibration Sensor Inspired by the Cricket Tail Hair
摘要
关键词
振动传感器/MEMS/共振频率/有限元仿真分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘林仙,王朝阳,乔楠楠..仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器 有限元仿真分析[J].测试技术学报,2020,34(4):355-359,368,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61603231) （61603231）
山西省应用基础研究资助项目(201801D221166,201801D221172) （201801D221166,201801D221172）
山西省高等学校科技创新资助项目 (2019L0068) （2019L0068）
