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铁电负电容场效应晶体管研究进展

陈俊东 韩伟华 杨冲 赵晓松 郭仰岩 张晓迪 杨富华

物理学报2020，Vol.69Issue(13)：46-74,29.
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物理学报2020，Vol.69Issue(13)：46-74,29.DOI:10.7498/aps.69.20200354

铁电负电容场效应晶体管研究进展

Recent research progress of ferroelectric negative capacitance field effect transistors

陈俊东 1韩伟华 2杨冲 1赵晓松 2郭仰岩 1张晓迪 2杨富华1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所, 半导体集成技术工程研究中心, 北京市半导体微纳集成工程技术研究中心, 北京 100083
  • 2. 中国科学院大学, 材料与光电研究中心, 北京 100049
  • 折叠

摘要

关键词

铁电负电容场效应晶体管/氧化铪基铁电体/三维沟道材料/二维沟道材料

引用本文复制引用

陈俊东,韩伟华,杨冲,赵晓松,郭仰岩,张晓迪,杨富华..铁电负电容场效应晶体管研究进展[J].物理学报,2020,69(13):46-74,29.

基金项目

国家重点研发计划 (批准号: 2016YFA0200503) 资助的课题. （批准号: 2016YFA0200503）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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